Нерђајући челик: Нерђајући челик је један од најчешће коришћених материјала у производњи већине вакуум пумпи, који поседује високу отпорност на корозију, отпорност на корозију и биоинертност. Због својих одличних својстава материјала, вакуум пумпе од нерђајућег челика нуде врхунску издржљивост и дуг радни век. Штавише, нерђајући челик може да ради на релативно високим температурама, што га чини погодним за широк спектар окружења.
Алуминијумска легура: Алуминијумска легура је лаган материјал који се широко користи у производњи прецизних инструмената. Вакум пумпе од легуре алуминијума нуде одличну издржљивост, високу чврстоћу и крутост; међутим, због своје релативно слабе отпорности на корозију, не може се користити за пумпање корозивних гасова.
гумени материјали
Флуорокарбонска гума: Флуорокарбонска гума је уобичајен гумени материјал у производњи вакуум пумпи, који поседује одличну отпорност на оксидацију, отпорност на киселине и алкалије и отпорност на хабање. Флуорокарбонска гума такође може да издржи широк спектар температурних флуктуација без губитка еластичности услед температурних промена.
Политетрафлуороетилен (ПТФЕ): Политетрафлуороетилен је веома чест материјал који се широко користи у различитим применама. Као материјал за вакуумске пумпе, показује добру отпорност на киселине и алкалије, отпорност на абразију и не-нелепљива својства.
Керамички материјали
Керамички материјали су још један уобичајени материјал који се користи у вакуум пумпама. Имају одличну отпорност на корозију, високу чврстоћу и отпорност на високе температуре. Због својих јединствених својстава материјала, керамичке вакуум пумпе се широко користе у високотехнолошким-индустријама као што су производња полупроводника, електронске компоненте и соларне ћелије.
